| 標準編號 | 標準名稱 | 發布部門 | 發布日期 | 狀態 | |
| GB/T 4058-2009 | 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法 | 中華人民共和國國家質.. | 2010-06-01 | 現行 | |
| GB/T 4061-2009 | 硅多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法 | 中華人民共和國國家質.. | 2010-06-01 | 現行 | |
| GB/T 6616-2009 | 半導體硅片電阻率及硅薄膜薄層電阻測試方法 非接觸渦流法 | 中華人民共和國國家質.. | 2010-06-01 | 現行 | |
| GB/T 6617-2009 | 硅片電阻率測定 擴展電阻探針法 | 中華人民共和國國家質.. | 2010-06-01 | 現行 | |
| GB/T 6618-2009 | 硅片厚度和總厚度變化測試方法 | 中華人民共和國國家質.. | 2010-06-01 | 現行 | |
| GB/T 6619-2009 | 硅片彎曲度測試方法 | 中華人民共和國國家質.. | 2010-06-01 | 現行 | |
| GB/T 6621-2009 | 硅片表面平整度測試方法 | 中華人民共和國國家質.. | 2010-06-01 | 現行 | |
| GB/T 6624-2009 | 硅拋光片表面質量目測檢驗方法 | 中華人民共和國國家質.. | 2010-06-01 | 現行 | |
| YS/T 679-2008 | 非本征半導體中少數載流子擴散長度的穩態表面光電壓測試方法 | 國家發展和改革委員會 | 2019-11-28 | 已作廢 | |
| GB/T 14264-1993 | 半導體材料術語 | 國家技術監督局 | 1993-01-02 | 已作廢 | |
| GB/T 14844-1993 | 半導體材料牌號表示方法 | 國家技術監督局 | 2019-11-28 | 已作廢 | |
| YS/T 23-1992 | 硅外延層厚度測定 堆垛層錯尺寸法 | 中國有色金屬工業總公.. | 1993-01-01 | 已作廢 | |
| YS/T 24-1992 | 外延釘缺陷的檢驗方法 | 中國有色金屬工業總公.. | 1993-01-01 | 已作廢 |
