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[GB/T 16595-2019] 晶片通用網格規范[現行]
發布時間：2019-03-25
實施時間：2020-02-01
本標準規定了可用于定量描述圓形半導體晶片表面缺陷的網格圖形。本標準適用于標稱直徑100 mm～200..
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[GB/T 16596-2019] 確定晶片坐標系規范[現行]
發布時間：2019-03-25
實施時間：2020-02-01
本標準規定了使用直角坐標和極坐標建立晶片正面坐標系、背面坐標系和三維坐標系的程序。本標準適用于有圖形..
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[GB/T 34479-2017] 硅片字母數字標志規范[現行]
發布時間：2017-10-14
實施時間：2018-07-01
本標準規定了硅片或其他半導體晶片上字母數字標志的編碼規范，包括標志的形狀和尺寸、字母數字代碼的定義、..
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[GB/T 32279-2015] 硅片訂貨單格式輸入規范[現行]
發布時間：2015-12-10
實施時間：2017-01-01
本標準規定了硅片訂貨單的格式要求和使用。?本標準適用于硅單晶研磨片、硅單晶拋光片、硅單晶外延片、太陽..
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發布時間：2014-10-14
實施時間：2015-04-01
本標準規定了硅拋光回收片的要求、檢驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、儲存、質量證明書和訂貨單（或合..
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[GB/T 14863-2013] 用柵控和非柵控二極管的電壓電容關系測定硅外延層中凈載流子濃度的方法[已廢止]
發布時間：2013-12-31
實施時間：2014-08-15
本標準規定了用柵控和非柵控二極管的電壓電容關系測定硅外延層中凈載流子濃度的測試方法。 本標準適用于外..
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[GB/T 30453-2013] 硅材料原生缺陷圖譜[現行]
發布時間：2013-12-31
實施時間：2014-10-01
本標準給出了硅多晶、硅單晶、硅片和硅外延片等硅材料的各種原生缺陷及其密切相關誘生缺陷的術語及其形貌特..
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[GB/T 30110-2013] 空間紅外探測器碲鎘汞外延材料參數測試方法[現行]
發布時間：2013-12-17
實施時間：2014-05-15
本標準規定了空間紅外探測器用碲鎘汞(HgCdTe)外延材料性能參數的測試方法和測試設備要求。本標準適..
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[GB/T 29505-2013] 硅片平坦表面的表面粗糙度測量方法[現行]
發布時間：2013-05-09
實施時間：2014-02-01
本標準提供了硅片表面粗糙度測量常用的輪廓儀、干涉儀、散射儀三類方法的測量原理、測量設備和程序,并規定..
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[GB/T 29057-2012] 用區熔拉晶法和光譜分析法評價多晶硅棒的規程[現行]
發布時間：2012-12-31
實施時間：2013-10-01
本標準采用區熔拉晶法和光譜分析法來測量多晶硅棒中的施主、受主雜質濃度。測得的施主、受主雜質濃度可以用..
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發布時間：2012-11-07
實施時間：2013-03-01
本標準規定了碲化鎘的技術要求、檢驗方法、檢驗規則、包裝、標志、運輸、貯存、質量證明書、訂貨單（或合同..
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[GB/T 14847-2010] 重摻雜襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測量方法[現行]
發布時間：2011-01-10
實施時間：2011-10-01
本標準規定重摻雜襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測量方法。本標準適用于襯底在23℃電阻率小于0.0..
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[GB/T 26065-2010] 硅單晶拋光試驗片規范[現行]
發布時間：2011-01-10
實施時間：2011-10-01
本標準規定了半導體器件制備中用作檢驗和工藝控制的硅單晶試驗片的技術要求。本標準涵蓋尺寸規格、結晶取向..
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[GB/T 26066-2010] 硅晶片上淺腐蝕坑檢測的測試方法[現行]
發布時間：2011-01-10
實施時間：2011-10-01
本標準規定了用熱氧化和化學擇優腐蝕技術檢驗拋光片或外延片表面因沾污造成的淺腐蝕坑的檢測方法。本標準適..
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[GB/T 26068-2010] 硅片載流子復合壽命的無接觸微波反射光電導衰減測試方法[已作廢]
發布時間：2011-01-10
實施時間：2011-10-01
本方法適用于測量均勻摻雜、經過拋光處理的n型或p型硅片的載流子復合壽命。本方法是非破壞性、無接觸測量..
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發布時間：2011-01-10
實施時間：2011-10-01
本標準規定了半導體器件和集成電路制造用硅退火拋光片的要求、試驗方法、檢驗規則等。本標準適用于線寬18..
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[GB/T 26071-2010] 太陽能電池用硅單晶切割片[已作廢]
發布時間：2011-01-10
實施時間：2011-10-01
本標準規定了太陽能電池用硅單晶切割片的技術要求、試驗方法、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存及質量證明..
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[GB/T 25075-2010] 太陽能電池用砷化鎵單晶[現行]
發布時間：2010-09-02
實施時間：2011-04-01
本標準規定了太陽能電池用砷化鎵單晶棒的分類、技術要求、檢驗方法和規則以及標志、包裝、運輸和貯存。本標..
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[GB/T 25076-2010] 太陽電池用硅單晶[已作廢]
發布時間：2010-09-02
實施時間：2011-04-01
本標準規定了太陽電池用硅單晶的技術要求、試驗方法,檢驗規則以及標志、包裝、運輸、貯存。本標準適用于直..
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發布時間：2009-10-30
實施時間：2010-06-01
本標準規定了半導體材料及其生長工藝、加工、晶體缺陷和表面沾污等方面的主要術語和定義。本標準適用于元素..
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