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外延釘缺陷的檢驗方法 已作廢

標準號：YS/T 24-1992

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基本信息

標準號：YS/T 24-1992
發布時間：1992-03-09
實施時間：1993-01-01
首發日期：
起草人：施海青、金勝祖
作廢日期：2016-09-01
標準分類： 半金屬與半導體材料綜合
ICS分類：半導體材料
提出單位：中國有色金屬工業總公司標準計量研究所
起草單位：L海有色金屬研究所
發布部門：中國有色金屬工業總公司

標準簡介

本標 準 規 定了外延釘缺陷的檢驗方法本標 準 適 用于任何直徑與晶向的硅外延片上高度不小于4,u m 的釘缺陷存在與否的判斷。如果釘缺陷比少且 彼此不相連，本標準可用十釘缺陷的汁數。本標 準 不 能測量釘缺陷的高度

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