基本信息
標準號：YS/T 985-2014
發布時間：2014-10-14
實施時間：2015-04-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：何良恩、劉丹、許峰、張海英、孫燕、曹孜、王飛堯、樓春蘭、徐新華
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 半金屬與半導體材料綜合
ICS分類：半導體材料
起草單位：浙江金瑞泓科技股份有限公司等
歸口單位：全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
主管部門：全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
標準簡介
本標準規定了硅拋光回收片的要求、檢驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、儲存、質量證明書和訂貨單（或合同）內容。 本標準適用于用戶提供的或來源于第三方的硅回收片（主要包括100mm、125mm、150mm和200mm單面或雙面拋光硅片、未拋光硅片或外延硅片）經單面拋光制備的硅拋光片。產品主要用于機械、爐處理、顆粒和光刻中的監控片。
標準摘要
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本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。 本標準修改采用SEMIM38-0307《硅拋光回收片規范》,本標準與SEMIM38-0307相比存在技術性差異,這些差異涉及的條款已通過在其外側頁邊空白位置的垂直單線(|)進行了標識。內容與SEMIM38-0307的主要差別在于: ———僅采用了SEMIM38-0307中關于100mm、125mm、150mm 和200mm 硅拋光回收片的內容,刪除了原標準中關于50.8mm、76.2mm 和300mm 直徑的硅拋光回收片內容(包括附錄1和附錄2)。 ———將SEMIM38-0307中表1和表2中關于100mm、125mm、150mm 和200mm 硅拋光回收片的規范合并,形成本標準中的表1。 ———根據我國標準編寫的習慣進行排版,并將技術要求表格提前。 本標準由全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC243)歸口。 本標準負責起草單位:浙江金瑞泓科技股份有限公司。 本標準參加起草單位:有研半導體材料股份有限公司、杭州海納半導體有限公司、萬向硅峰電子股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司。 本標準主要起草人:何良恩、劉丹、許峰、張海英、孫燕、曹孜、王飛堯、樓春蘭、徐新華。 |
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