確定晶片坐標系規范 現行
Specification for establishing a wafer coordinate system
標準號：GB/T 16596-2019
基本信息
標準號：GB/T 16596-2019
發布時間：2019-03-25
實施時間：2020-02-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：盧立延、孫燕、潘金平、楊素心、樓春蘭、胡金枝、李素青
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 半金屬與半導體材料綜合
ICS分類：半導體材料
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC 203/SC 2)
起草單位：有色金屬技術經濟研究院、有研半導體材料有限公司、浙江海納半導體有限公司、浙江省硅材料質量檢驗中心、上海合晶硅材料有限公司
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC 203/SC 2)
發布部門：國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了使用直角坐標和極坐標建立晶片正面坐標系、背面坐標系和三維坐標系的程序。本標準適用于有圖形和無圖形的晶片坐標系的建立。該坐標系用于確定和記錄晶片上的缺陷、顆粒等測試結果的準確位置。
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