| 標準編號 | 標準名稱 | 發布部門 | 發布日期 | 狀態 | |
| GB/T 14140.2-1993 | 硅片直徑測量方法 千分尺法 | 國家技術監督局 | 1993-10-01 | 已作廢 | |
| YS/T 43-1992 | 高純砷 | 中國有色金屬工業總公.. | 1993-03-01 | 已作廢 | |
| YS/T 25-1992 | 硅拋光片表面清洗方法 | 1993-01-01 | 已廢止 | ||
| YS/T 26-1992 | 硅片邊緣輪郭檢驗方法 | 中國有色金屬工業總公.. | 1993-01-01 | 已作廢 | |
| YS/T 28-1992 | 硅片包裝 | 中國有色金屬工業總公.. | 1993-01-01 | 已作廢 | |
| GB 11095-1989 | 霍爾器件和甘氏器件用砷化鎵液相外延片 | 1990-03-01 | 已作廢 | ||
| GB/T 11070-1989 | 還原鍺錠 | 國家技術監督局 | 1990-02-01 | 已作廢 | |
| GB/T 11071-1989 | 區熔鍺錠 | 國家技術監督局 | 1990-02-01 | 已作廢 | |
| GB/T 11072-1989 | 銻化銦多晶、單晶及切割片 | 國家技術監督局 | 1990-02-01 | 已作廢 | |
| GB 11093-1989 | 液封直拉法砷化鎵單晶及切割片 | 中國有色金屬工業協會 | 1990-03-01 | 已作廢 | |
| GB/T 11094-1989 | 水平法砷化鎵單晶及切割片 | 國家技術監督局 | 1990-03-01 | 已作廢 | |
| YS/T 209-1994 | 硅材料原生缺陷圖譜 | 中國有色金屬工業總公.. | 1988-03-01 | 已廢止 | |
| GB 3495-1983 | 砷 | 1983-12-01 | 已作廢 | ||
| YS/T 290-1994 | 霍爾器件和甘氏器件用砷化鎵液相外延片 | 1983-07-01 | 已廢止 | ||
| SJ 1550-1979 | 硅外延片檢測方法 | 中華人民共和國第四機.. | 1980-06-01 | 已廢止 | |
| SJ 1551-1979 | 硅外延層電阻率測試方法(電容-電壓法)(暫行) | 中華人民共和國第四機.. | 1980-06-01 | 已廢止 | |
| GB 1476-1979 | 碲 | 1979-10-01 | 已作廢 | ||
| GB 1477-1979 | 硒 | 1979-10-01 | 已作廢 |
