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硅片包裝 已作廢

標準號：YS/T 28-1992

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基本信息

標準號：YS/T 28-1992
發布時間：1992-03-09
實施時間：1993-01-01
首發日期：
起草人：孫瑾
作廢日期：2015-10-01
標準分類： 半金屬
ICS分類：半導體材料
提出單位：中國有色金屬工業總公司標準計量研究所
起草單位：上海第二冶煉廠
發布部門：中國有色金屬工業總公司

標準簡介

本 標準 規 定了硅片包裝的分級、技術要求、操作、運輸和貯存。本 標 準 適用于硅拋光片和硅外延片的包裝。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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