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硅片邊緣輪郭檢驗方法 已作廢

標準號：YS/T 26-1992

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基本信息

標準號：YS/T 26-1992
發布時間：1992-03-09
實施時間：1993-01-01
首發日期：
起草人：王從贊、夏光勤
作廢日期：2017-01-01
標準分類： 半金屬
ICS分類：半導體材料
提出單位：中國有色金屬工業總公司標準計量研究所
起草單位：洛陽單晶硅廠
發布部門：中國有色金屬工業總公司

標準簡介

本標準規定了硅片邊緣輪廓的檢驗方法。本檢驗方法適用于檢驗倒角硅片的邊緣輪廓.

替代情況

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引用標準

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采標情況

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