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硅片邊緣輪郭檢驗方法已作廢

標(biāo)準(zhǔn)號：YS/T 26-1992

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：YS/T 26-1992

發(fā)布時間：1992-03-09

實施時間：1993-01-01

首發(fā)日期：

起草人：王從贊、夏光勤

作廢日期：2017-01-01

標(biāo)準(zhǔn)分類：半金屬

ICS分類：半導(dǎo)體材料

提出單位：中國有色金屬工業(yè)總公司標(biāo)準(zhǔn)計量研究所

起草單位：洛陽單晶硅廠

發(fā)布部門：中國有色金屬工業(yè)總公司

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片邊緣輪廓的檢驗方法。本檢驗方法適用于檢驗倒角硅片的邊緣輪廓.

替代情況

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引用標(biāo)準(zhǔn)

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本標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)公告

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采標(biāo)情況

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