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ISO 14644-13:2017現行

Cleanrooms and associated controlled environments Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

出版：International Organization for Standardization

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基本信息
標準編號： ISO 14644-13:2017
發布時間：2017/7/11 0:00:00
標準類別：Standard
出版單位：International Organization for Standardization
標準頁數：34
標準簡介

This document gives guidelines for cleaning to a specified degree on cleanroom surfaces, surfaces of equipment in a cleanroom and surfaces of materials in a cleanroom.