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ISO/FDIS 14644-13被替代

Cleanrooms and associated controlled environments Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

出版：International Organization for Standardization

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基本信息
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)： ISO/FDIS 14644-13
標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)別：Draft
出版單位：International Organization for Standardization
標(biāo)準(zhǔn)頁(yè)數(shù)：0
替代本標(biāo)準(zhǔn)的新標(biāo)準(zhǔn)

ISO 14644-13:2017

ISO/DIS 14644-13