IEC 62047-1 Ed. 1.0被替代

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices Part 1: Terms and definitions

出版：International Electrotechnical Committee

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基本信息

標準編號： IEC 62047-1 Ed. 1.0

發(fā)布時間：2005/9/27 0:00:00

標準類別：Standard

出版單位：International Electrotechnical Committee

標準頁數(shù)：49

標準簡介

This part of IEC 62047 defines terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.

替代本標準的新標準

IEC 62047-1 Ed. 2.0

等同采用的國際標準

PN EN 62047-1:2008 - Identical

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