NEN EN IEC 62047-1:2006被替代

Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices - Part 1: Terms And Definitions

出版：Nederlands Normalisatie Instituut

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基本信息

標準編號： NEN EN IEC 62047-1:2006

發布時間：2006/7/1 0:00:00

標準類別：Standard

出版單位：Nederlands Normalisatie Instituut

標準頁數：49

標準簡介

Defines terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.

替代本標準的新標準

NEN EN IEC 62047-1:2016

等同采用的國際標準

EN 62047-1:2016 - Identical

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