I.S. EN 62047-1:2006被替代

Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices - Part 1: Terms And Definitions

出版：National Standards Authority of Ireland

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)編號： I.S. EN 62047-1:2006

發(fā)布時間：2006/7/18 0:00:00

標(biāo)準(zhǔn)類別：Standard

出版單位：National Standards Authority of Ireland

標(biāo)準(zhǔn)頁數(shù)：62

標(biāo)準(zhǔn)簡介

Describes terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.

替代本標(biāo)準(zhǔn)的新標(biāo)準(zhǔn)

I.S. EN 62047-1:2016

等同采用的國際標(biāo)準(zhǔn)

IEC 62047-1 Ed. 1.0 - Identical

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