| 標準編號 | 標準名稱 | 發布部門 | 發布日期 | 狀態 | |
| GB/T 12965-1996 | 硅單晶切割片和研磨片 | 國家技術監督局 | 1997-04-01 | 已作廢 | |
| YS/T 15-1991 | 硅外延層和擴散層厚度測定 磨角染色法 | 1992-06-01 | 已作廢 | ||
| GB 12962-1991 | 硅單晶 | 1992-03-01 | 已作廢 | ||
| GB 12963-1991 | 硅多晶 | 1992-03-01 | 已作廢 | ||
| GB 12964-1991 | 硅單晶拋光片 | 1992-03-01 | 已作廢 | ||
| GB 12965-1991 | 硅單晶切割片和研磨片 | 1992-01-01 | 已作廢 | ||
| GB 2881-1991 | 工業硅技術條件 | 國家技術監督局 | 1992-06-01 | 已作廢 | |
| YS/T 14-1991 | 異質外延層和硅多晶層厚度的測量方法 | 1992-06-01 | 已作廢 |
