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[SJ/T 31116-1994] PLA－501F型光刻機完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31117-1994] 15B型磨片機完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31118-1994] RS－H80H型外圓 磨機完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31119-1994] 掩膜對準(zhǔn)曝光機完好要求和檢查評定方法[修訂]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31120-1994] KSM－MJB3型掩膜對準(zhǔn)曝光機完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31121-1994] JB－VⅡ型掩膜對準(zhǔn)曝光機完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31128-1994] 近紅外厚膜燒結(jié)爐完好要求和檢查評定方法[已作廢]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31130-1994] D051－22型高溫氫氣爐完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31131-1994] 4304型擴散爐完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31132-1994] ASM型微機擴散爐完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31133-1994] 中速自動玻管拉管機完好要求和檢查評定方法[現(xiàn)行]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31134-1994] 焊接機完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31136-1994] 磨粉機完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31137-1994] （鋇）合金熔煉爐完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31184-1994] 芯柱焊接機完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31185-1994] 氫氣退火爐完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31186-1994] 蔭罩黑化爐完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31187-1994] 低熔點玻璃燒結(jié)爐完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31188-1994] 穩(wěn)定處理爐完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

[SJ/T 31189-1994] 顯像管玻殼屏、錐壓機完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間：1997-01-01 實施時間：1997-01-01

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