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[SJ/T 31091-1994] 晶片內(nèi)圓切片機(jī)完好要求和檢查評定方法[現(xiàn)行]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31092-1994] 晶片數(shù)控切割(劃片)機(jī)完好要求和檢查評定方法[修訂]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31093-1994] 陶瓷劈刀外圓磨床完好要求和檢查評定方法[現(xiàn)行]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31095-1994] 劈刀研磨裝置完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31097-1994] TDH-4C4TO型去飛邊機(jī)完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31098-1994] LH型液體去飛邊機(jī)完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31099-1994] 倒角機(jī)完好要求和檢查評定方法[修訂]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31101-1994] 貼片機(jī)完好要求和檢查評定方法[現(xiàn)行]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31102-1994] 142型翻版機(jī)完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31103-1994] 786-HT型分選機(jī)完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31104-1994] 分選機(jī)完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31105-1994] DRS-Ⅱ840型激光修版機(jī)完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31106-1994] PPT-10型膜片成型機(jī)完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31107-1994] ZDS-1型電泳機(jī)完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31108-1994] CG3000型單晶爐完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31109-1994] 高壓單晶爐完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31110-1994] AMV-1284型硅外延爐完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31111-1994] AMC-7811/21型桶式外延爐完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31113-1994] DB-3型電子束曝光機(jī)完好要求和檢查評定方法[廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

[SJ/T 31115-1994] 精縮機(jī)完好要求和檢查評定方法[已廢止]

發(fā)布時間:1997-01-01 實施時間:1997-01-01

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