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電子級氧已廢止

Electronic grade Oxygen

標準號：SJ 2796-1987

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基本信息

標準號：SJ 2796-1987

發布時間：1987-04-06

實施時間：1988-01-01

首發日期：

出版單位：電子工業出版社查看詳情>

起草人：林耀澤、趙長春、周定華

作廢日期：2010-01-20

出版機構：電子工業出版社

標準分類：技術管理

提出單位：中國電子學會潔凈技術學會

起草單位：電子工業部第二十四研究所、電子工業部標準化研究所

發布部門：中華人民共和國電子工業部

標準簡介

本標準適用于半導體分立器件和集成電路生產工藝過程中使用的電子級氧、按其使用要求電子級氧分為兩級，代號為：電子 Ⅰ級氧代號為：DZO2-Ⅰ ; Ⅱ級氬代號為：DZO2- Ⅱ

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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