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電子級氫中痕量氧+氬、氮測定方法 變溫濃縮色譜法

Method for determination of Oxygen with Argon and Nitrogen in electronic grade Hydrogen-Concentration gas chromatographic method
標準號:SJ 2805-1987
基本信息
標準號:SJ 2805-1987
發布時間:1987-04-06
實施時間:1988-01-01
首發日期:
出版單位:電子工業出版社查看詳情>
起草人:
作廢日期:2010-01-20
出版機構:電子工業出版社
標準分類: 技術管理
提出單位:中國電子學會潔凈技術學會
起草單位:電子工業部標準化研究所
發布部門:中華人民共和國電子工業部
標準簡介
本方法適用于電子級氫中痕量氧十氬、氮的測定。應用此方法可同時測定甲烷、一氧化碳、二氧化碳,最低檢測量為0.01ppm。
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