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電子級氣體中痕量二氧化碳測定方法 氫焰轉化色譜法 已廢止

Method for determination of trace Carbon dioxide in electronic grade gases-Hydrogen flame ionzation detertor method

標準號：SJ 2802-1987

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基本信息

標準號：SJ 2802-1987
發(fā)布時間：1987-04-06
實施時間：1988-01-01
首發(fā)日期：
出版單位：電子工業(yè)出版社查看詳情>
起草人：朱國華、趙長春
作廢日期：2010-01-20
出版機構：電子工業(yè)出版社
標準分類： 技術管理
提出單位：中國電子學會潔凈技術學會
起草單位：電子工業(yè)部標準化研究所
發(fā)布部門：中華人民共和國電子工業(yè)部

標準簡介

本方法適用于電子級氫、氮、氬中痕量二氧化碳的測定，測定范圍為0.05～16ppm。

替代情況

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引用標準

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