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電子級氣體中痕量甲烷的測定方法 氫焰色譜法

Method for determination of trace methanane in electronic grade gases-Hydrogen flame ionization deteror method
標準號:SJ 2800-1987
基本信息
標準號:SJ 2800-1987
發布時間:1987-04-06
實施時間:1988-01-01
首發日期:
出版單位:電子工業出版社查看詳情>
起草人:于錫榮、趙長春、尹恩華
作廢日期:2010-01-20
出版機構:電子工業出版社
標準分類: 技術管理
提出單位:中國電子學會潔凈技術學會
起草單位:電子工業部標準化研究所
發布部門:中華人民共和國電子工業部
標準簡介
本方法適用于電子級氫、氮、氧、氬氣體中痕量甲烷的測定,亦適用于空氣及其他惰性氣體中甲烷的測定,當進樣量為1m1升時,最低檢測濃度為0.1ppm。
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