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電子級氣體中顆粒的測定方法 光散射法
電子級氣體中顆粒的測定方法 光散射法 已廢止
Method for determination of particles in electronic grade gases-Light scattering method
標準號：SJ 2798-1987
基本信息
標準號：SJ 2798-1987
發布時間：1987-04-06
實施時間：1988-01-01
首發日期：
出版單位：電子工業出版社查看詳情>
起草人：周定華、杜俊英、趙長春
作廢日期：2010-01-20
出版機構：電子工業出版社
標準分類： 技術管理
提出單位：中國電子學會潔凈技術學會
起草單位：電子工業部標準化研究所
發布部門：中華人民共和國電子工業部
標準簡介
本方法適用于電子級氫、氮、氧、氬、氦中顆粒測定，也適用于普通氫、氮、氧、氬、氦及其他無腐蝕性氣體中顆粒的測定。
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