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電子級氬中痕量氮測定方法 變溫濃縮色譜法(二)

Method for determination of trace Nitrogen in electronic grade Argon-Concentration gas chromatographic method (Part two)
標準號:SJ 2804.2-1987
基本信息
標準號:SJ 2804.2-1987
發布時間:1987-04-06
實施時間:1988-01-01
首發日期:
出版單位:電子工業出版社查看詳情>
起草人:王銘安、趙長春、尹恩華
作廢日期:2010-01-20
出版機構:電子工業出版社
標準分類: 技術管理
提出單位:中國電子學會潔凈技術學會
起草單位:電子工業部標準化研究所
發布部門:中華人民共和國電子工業部
標準簡介
本方法適用于電子級氬中痕量氮測定,應用此法可同時測定其中甲烷、一氧化碳和二氧化碳含量。測定范圍為0.5~50ppm。
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