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電子級氮已廢止

Electronic grade Nitrogen

標準號：SJ 2795-1987

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基本信息

標準號：SJ 2795-1987

發布時間：1987-04-06

實施時間：1988-01-01

首發日期：

出版單位：電子工業出版社查看詳情>

起草人：譚易和、趙長春、周定華

作廢日期：2010-01-20

出版機構：電子工業出版社

標準分類：技術管理

提出單位：中國電子學會潔凈技術學會

起草單位：電子工業部標準化研究所

發布部門：中華人民共和國電子工業部

標準簡介

本標準適用于半導體材料、分立器體和集成電路生產工藝過程中使用的電子級氮，按其使用要求電子級氮，分為三級，代號為：電子Ⅰ級氮代號為：DZN2-Ⅰ；電子Ⅱ級氮代號為：DZN2-Ⅱ；電子Ⅲ級氮代號為：DZN2-Ⅲ。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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