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電子級(jí)氣體中痕量氫的測(cè)試方法 氣敏色譜法 已廢止

Method for determination of trace Hydrogen in electronic grade gases-Gas-sensitization chromatographic method

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：SJ 2807-1987

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：SJ 2807-1987
發(fā)布時(shí)間：1987-04-06
實(shí)施時(shí)間：1988-01-01
首發(fā)日期：
出版單位：電子工業(yè)出版社查看詳情>
起草人：
作廢日期：2010-01-20
出版機(jī)構(gòu)：電子工業(yè)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 技術(shù)管理
發(fā)布部門：中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本方法適用于電子級(jí)氫、氮、氧、氬和氦和氨中痕量氫的測(cè)定，測(cè)定范圍為0.05～37ppm。

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