BS EN ISO 14644-10:2013現行
Cleanrooms And Associated Controlled Environments - Part 10: Classification Of Surface Cleanliness By Chemical Concentration
出版：British Standards Institution
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： BS EN ISO 14644-10:2013
發布時間：2013/4/30 0:00:00
標準類別：Standard
出版單位：British Standards Institution
標準頁數：40
標準簡介
Describes the classification system for cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles).
標準備注
Supersedes 11/30196563 DC. (04/2013)
本標準替代的舊標準
