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EN ISO 14644-10 : 2013現行

CLEANROOMS AND ASSOCIATED CONTROLLED ENVIRONMENTS - PART 10: CLASSIFICATION OF SURFACE CLEANLINESS BY CHEMICAL CONCENTRATION (ISO 14644-10:2013)

出版：Comite Europeen de Normalisation

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基本信息
標準編號： EN ISO 14644-10 : 2013
標準類別：Standard
出版單位：Comite Europeen de Normalisation
標準頁數：0
標準簡介

Describes the classification system for cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles).