DIN EN 62047-4 : 2011現(xiàn)行

SEMICONDUCTOR DEVICES - MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICES - PART 4: GENERIC SPECIFICATION FOR MEMS

出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)編號： DIN EN 62047-4 : 2011

發(fā)布時間：2011/1/1 0:00:00

標(biāo)準(zhǔn)類別：Standard

出版單位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

標(biāo)準(zhǔn)頁數(shù)：22

本標(biāo)準(zhǔn)替代的舊標(biāo)準(zhǔn)

DIN IEC 62047-4 : DRAFT 2006

等同采用的國際標(biāo)準(zhǔn)

EN 62047-4 : 2010 - Identical

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