NEN EN ISO 14644-9:2008被替代
Cleanrooms And Associated Controlled Environments - Part 9: Classification Of Surface Particle Cleanliness
出版：Nederlands Normalisatie Instituut
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： NEN EN ISO 14644-9:2008
發布時間：2008/8/1 0:00:00
標準類別：Draft
出版單位：Nederlands Normalisatie Instituut
標準頁數：35
標準簡介
Specifies the classification of the particle contamination levels on solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environment applications.
替代本標準的新標準
等同采用的國際標準
ISO/DIS 14644-9 - Identical
