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NEN EN ISO 14644-9:2012現行

Cleanrooms And Associated Controlled Environments - Part 9: Classification Of Surface Cleanliness By Particle Concentration

出版：Nederlands Normalisatie Instituut

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基本信息
標準編號： NEN EN ISO 14644-9:2012
發布時間：2012/8/1 0:00:00
標準類別：Standard
出版單位：Nederlands Normalisatie Instituut
標準頁數：26
標準簡介

Defines the classification of cleanliness levels on solid surfaces by particle concentration in cleanrooms and associated controlled environment applications.

本標準替代的舊標準

NEN EN ISO 14644-9:2008