DIN 28429 (2003-04)被替代
Vacuum Technology - Acceptance Specifications For Getter Ion Pumps
出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： DIN 28429 (2003-04)
發布時間：2003/4/1 0:00:00
標準類別：Standard
出版單位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
標準頁數：12
標準簡介
Applies to sputter ion pumps 1) (hereinafter briefly referred to as pumps) with a nominal volume flow rate greater than 10l.s-1 and with the pressure range for the determination of the volume flow rate lying between 1,5.10-5 mbar and 1.10-9 mbar.
標準備注
DRAFT 2013 issued in April 2013. (04/2013)
本標準替代的舊標準
替代本標準的新標準
