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NBN EN ISO 14644-10 : 2013現(xiàn)行

CLEANROOMS AND ASSOCIATED CONTROLLED ENVIRONMENTS - PART 10: CLASSIFICATION OF SURFACE CLEANLINESS BY CHEMICAL CONCENTRATION (ISO 14644-10:2013)

出版：Belgian Standards

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基本信息
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)： NBN EN ISO 14644-10 : 2013
標(biāo)準(zhǔn)類別：Standard
出版單位：Belgian Standards
標(biāo)準(zhǔn)頁(yè)數(shù)：0
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

Describes the classification system for cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles).

等同采用的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

EN ISO 14644-10 : 2013 - Identical

ISO 14644-10 : 2013 - Identical