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掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范
掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范 現(xiàn)行
Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：JJF 1351-2012
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：JJF 1351-2012
發(fā)布時(shí)間：2012-06-18
實(shí)施時(shí)間：2012-09-18
首發(fā)日期：
出版單位：中國(guó)質(zhì)檢出版社查看詳情>
起草人：朱振宇、任冬梅等
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)質(zhì)檢出版社
起草單位：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所、上海計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院、貴州計(jì)量測(cè)試院等
歸口單位：全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門(mén)：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局
主管部門(mén)：全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本規(guī)范適用于以幾何表面形貌為測(cè)量對(duì)象的掃描探針顯微鏡的校準(zhǔn)。掃描探針顯微鏡根據(jù)其設(shè)計(jì)原理不同,校準(zhǔn)時(shí)需要根據(jù)實(shí)際情況選擇相關(guān)的計(jì)量特性。對(duì)有特殊要求的測(cè)量任務(wù),如對(duì)溯源要求較高的測(cè)量,不在本校準(zhǔn)規(guī)范的適用范圍。
標(biāo)準(zhǔn)摘要
| 本規(guī)范為初次發(fā)布。制定本規(guī)范的目的主要是解決工業(yè)中掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)問(wèn)題。規(guī)范編制中參考了國(guó)際上納米計(jì)量領(lǐng)域的一些理論性研究成果,并以實(shí)際納米計(jì)量工作中的一些實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)制定了本規(guī)范。 |
標(biāo)準(zhǔn)目錄
| x引言 (Ⅱ) 1 范圍 (1) 2 引用文件 (1) 3 術(shù)語(yǔ)和定義 (1) 3.1 掃描探針顯微鏡 (1) 3.2 掃描探針顯微鏡Z 向漂移 (1) 4 概述 (1) 5 計(jì)量特性 (2) 5.1 掃描探針顯微鏡Z 向漂移 (2) 5.2 X、Y 軸位移測(cè)量誤差 (2) 5.3 Z 軸位移測(cè)量誤差 (2) 5.4 掃描探針顯微鏡測(cè)量重復(fù)性 (2) 5.5 X、Y 坐標(biāo)正交性誤差 (2) 6 校準(zhǔn)條件 (2) 6.1 環(huán)境條件 (2) 6.2 標(biāo)準(zhǔn)器 (2) 7 校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法 (3) 7.1 掃描探針顯微鏡Z向漂移 (3) 7.2 X、Y 軸位移測(cè)量誤差 (4) 7.3 Z 軸位移測(cè)量誤差 (5) 7.4 掃描探針顯微鏡測(cè)量重復(fù)性 (6) 7.4.1 X、Y 軸測(cè)量重復(fù)性 (6) 7.4.2 Z軸測(cè)量重復(fù)性 (6) 7.5 X、Y 坐標(biāo)正交性誤差 (6) 8 校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá) (7) 9 復(fù)校時(shí)間間隔 (7) 附錄A 掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)結(jié)果的測(cè)量不確定度評(píng)定 (8) |
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