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半導體用透明石英玻璃器件
半導體用透明石英玻璃器件 廢止
Transparent quartz glass devices for semiconductor
標準號：JC/T 181-2011
基本信息
標準號：JC/T 181-2011
發布時間：2011-12-20
實施時間：2012-07-01
首發日期：
出版單位：建材工業出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：建材工業出版社
標準分類： 石英玻璃
ICS分類：玻璃產品
起草單位：中國建筑材料檢驗認證中心、中國建筑材料科學研究總院
歸口單位：全國工業玻璃和特種玻璃標準化技術委員會
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
標準簡介
本標準規定了半導體用透明石英玻璃器件的術語和定義、分類和標記、材料、要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于半導體行業生產中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃擴散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保溫桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可參照本標準。
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