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硅拋光片表面顆粒測試方法
硅拋光片表面顆粒測試方法 已作廢
Test method of particles on silicon wafer surfaces
標準號：GB/T 19921-2005
基本信息
標準號：GB/T 19921-2005
發布時間：2005-09-19
實施時間：2006-04-01
首發日期：2005-09-19
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：孫燕、盧立延、董慧燕、劉紅艷、翟富義
作廢日期：2019-07-01
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 半金屬及半導體材料分析方法
ICS分類：金屬材料試驗綜合
提出單位：中國有色金屬工業協會
起草單位：北京有色金屬研究總院
歸口單位：全國有色金屬標準化技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：中國有色金屬工業協會
標準簡介
本標準規定了應用掃描表面檢查系統(SSIS)對硅拋光片表面顆粒進行測試、計數和報告的程序。本標準適用于硅拋光片，也可適用于硅外延片或其他鏡面拋光片(如化合物拋光片)。本標準也適用于觀測硅拋光片表面的劃痕、桔皮、凹坑、波紋等缺陷，但這些缺陷的檢測、分類依賴于設備的功能，并與檢測時的初始設置有關。
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