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電子工業(yè)用氣體 砷化氫

Gases for electronic industry—Arsine
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 26250-2010
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 26250-2010
發(fā)布時(shí)間:2011-01-14
實(shí)施時(shí)間:2011-05-01
首發(fā)日期:2011-01-14
出版單位:中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人:孫福楠、方華、周鵬云、莊鴻濤、李建浩
出版機(jī)構(gòu):中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類: 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類:工業(yè)氣體
提出單位:全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)
起草單位:西南化工研究設(shè)計(jì)院、上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司、光明化工研究設(shè)計(jì)院
歸口單位:全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203/SC 1)
發(fā)布部門(mén):中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門(mén):全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203/SC 1)
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了砷化氫的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于砷化合物與酸反應(yīng)獲得的砷化氫。在半導(dǎo)體器件制備過(guò)程中,砷化氫用于摻雜以及化合物半導(dǎo)體外延。
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