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用于集成電路制造技術的檢測圖形單元規范
用于集成電路制造技術的檢測圖形單元規范 現行
Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
標準號：GB/T 16878-1997
基本信息
標準號：GB/T 16878-1997
發布時間：1997-06-20
實施時間：1998-03-01
首發日期：1997-06-20
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 加工專用設備
ICS分類：集成電路、微電子學
起草單位：中國科學院縮微電子中心
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本規范規定若干種標準測試圖形，用以對集成電路生產中所用的微圖形設備、計量儀器和工藝進行一致的全面評估和檢測。
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