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太陽能電池用硅片厚度及總厚度變化測試方法

Test method for thickness and total thickness variation of silicon wafers for solar cell
標準號:GB/T 30869-2014
基本信息
標準號:GB/T 30869-2014
發布時間:2014-07-24
實施時間:2015-02-01
首發日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:何紫軍、馮地直、程宇、黎陽、陳琳、荊旭華、劉卓
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 金屬物理性能試驗方法
ICS分類:金屬材料試驗
提出單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)及材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)
起草單位:東方電氣集團峨嵋半導體材料有限公司、有研半導體材料股份有限公司、樂山新天源太陽能科技有限公司、青洋電子材料有限公司
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)及材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)
發布部門:中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門:國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了太陽能電池用硅片(以下簡稱硅片)厚度及總厚度變化的分立式和掃描式測量方法。本標準適用于符合 GB/T26071、GB/T29055規定尺寸的硅片的厚度及總厚度變化的測量,分立式測量方法適用于接觸式及非接觸式測量,掃描式測量方法只適用于非接觸式測量。在測量儀器準許的情況下,本標準也可用于其他規格硅片的厚度及總厚度變化的測量。
標準摘要
本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。 本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)及材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。 本標準起草單位:東方電氣集團峨嵋半導體材料有限公司、有研半導體材料股份有限公司、樂山新天源太陽能科技有限公司、青洋電子材料有限公司。 本標準主要起草人:何紫軍、馮地直、程宇、黎陽、陳琳、荊旭華、劉卓。 |
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