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電子工業用氣體 六氟化硫
電子工業用氣體 六氟化硫 已作廢
Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
標準號：GB/T 18867-2002
基本信息
標準號：GB/T 18867-2002
發布時間：2002-10-15
實施時間：2003-04-01
首發日期：2002-10-15
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：杜偉華、張奎、賀國武、張軍、何道善
作廢日期：2015-07-01
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：原國家石油和化學工業局
起草單位：中核紅華特種氣體股份有限公司
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了電子工業用氣體六氟化硫產品的技術要求、分析方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。本標準適用于硫與氟反應生成經精制和純化制備的高純度六氟化硫。該產品主要用作等離子蝕刻劑、摻雜劑、電子器件的外延氣或稀釋載氣等。
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