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半導(dǎo)體設(shè)備可靠性、可用性和維修性（RAM）的定義和測量規(guī)范 現(xiàn)行

Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability availability and maintainability(RAM)

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 24468-2009

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 24468-2009
發(fā)布時間：2009-10-15
實(shí)施時間：2009-12-01
首發(fā)日期：2009-10-15
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 電子測量與儀器綜合
ICS分類：測量儀器儀表
起草單位：中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究所
歸口單位：469-203 全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

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