碳化硅單晶拋光片 現行
Polished monocrystalline silicon carbide wafers
標準號：GB/T 30656-2014
基本信息
標準號：GB/T 30656-2014
發布時間：2014-12-31
實施時間：2015-09-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：陳小龍、鄭紅軍、張瑋、郭鈺、劉春俊、劉振洲
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 化合物半導體材料
ICS分類：半導體材料
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)和全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC203/SC2)
起草單位：陳小龍、鄭紅軍、張瑋、郭鈺、劉春俊、劉振洲
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)和全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC203/SC2)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了4H及6H碳化硅單晶拋光片的要求、檢驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、儲存、質量證明書及訂貨單（或合同）內容。 本標準適用于4H及6H碳化硅單晶研磨片經單面或雙面拋光后制備的碳化硅單晶拋光片。產品主要用于制作半導體照明及電力電子器件的外延襯底。
標準摘要
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本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。 請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。 本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)和全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。 本標準起草單位:北京天科合達藍光半導體有限公司、中國科學院物理研究所。 本標準主要起草人:陳小龍、鄭紅軍、張瑋、郭鈺、劉春俊、劉振洲。 |
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