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當(dāng)前位置： 首頁 > 硅外延片

硅外延片 已作廢

Silicon epitaxial wafers

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 14139-1993

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 14139-1993
發(fā)布時間：1993-02-06
實(shí)施時間：1993-10-01
首發(fā)日期：1993-02-06
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：
作廢日期：2010-06-01
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 半金屬
ICS分類：  29.040.30
起草單位：上海第二冶煉廠
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅外延片的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法和檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于在N型硅拋光片襯底上生長的N型外延層(N/N+)和在P型硅拋光片襯底上生長的P型外延層(P/P+)的同質(zhì)硅外延片。產(chǎn)品用于制作半導(dǎo)體器件。

替代情況

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引用標(biāo)準(zhǔn)

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本標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)公告

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采標(biāo)情況

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