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電子工業(yè)用氣體　硒化氫 現(xiàn)行

Gases for electronic industry—Hydrogen selenide

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 26249-2010

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 26249-2010
發(fā)布時間：2011-01-14
實施時間：2011-05-01
首發(fā)日期：2011-01-14
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：周澤義、方華、莊鴻濤、李建浩、周鵬云、徐少兵
出版機構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
提出單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)
起草單位：中國計量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計院、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、河北保定市北方特種氣體有限公司
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會(SAC/TC 203/SC 1)
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會(SAC/TC 203/SC 1)

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硒化氫的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硒鋁、硒鎂合金化合物水解、單質(zhì)硒與氫高溫反應(yīng)等方法獲得并經(jīng)精制得到的硒化氫產(chǎn)品。它主要用于太陽能電池、半導(dǎo)體和集成電路生產(chǎn)的外延、離子注入和摻雜。分子式:H2Se。相對分子質(zhì)量:80.97588(按2007年國際相對原子質(zhì)量計算)。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ 和附錄Ｂ為規(guī)范性附錄。附錄Ｃ 為資料性附錄。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會(SAC/TC203/SC1)歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國計量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計院、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、河北保定市北方特種氣體有限公司。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:周澤義、方華、莊鴻濤、李建浩、周鵬云、徐少兵。

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