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電子工業(yè)用氣體 氧化亞氮 已作廢

Gases for electronic industry. Nitrous oxide

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 14600-1993

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 14600-1993
發(fā)布時(shí)間：1993-08-26
實(shí)施時(shí)間：1994-07-01
首發(fā)日期：1993-08-26
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：段淑芳
作廢日期：2010-05-01
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
提出單位：中華人民共和國化學(xué)工業(yè)部
起草單位：化工部西南化工研究院
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體——瓶裝氧化亞氮的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硝酸銨熱分解工藝制取的氧化亞氮。該產(chǎn)品主要用于電子工業(yè)中二氧化硅的化學(xué)氣相淀積、等離子工藝。

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