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電子工業(yè)用氣體 氯化氫 已作廢

Gases for electronic industry. Hydrogen chloride

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 14602-1993

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 14602-1993
發(fā)布時間：1993-08-26
實施時間：1994-07-01
首發(fā)日期：1993-08-26
起草人：
作廢日期：2015-07-01
標(biāo)準(zhǔn)分類： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
起草單位：化工部西南化工研究院
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氯化氫的技術(shù)要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存和安全要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氫、氯為原料合成的氯化氫和以工業(yè)氯化氫為原料經(jīng)凈化制得的瓶裝液態(tài)氯化氫。氯化氫主要用于電子工業(yè)，在集成電路生產(chǎn)中用于蝕刻、鈍化、外延等工藝。也可用于金屬冶煉、光導(dǎo)通訊和科學(xué)研究等領(lǐng)域。

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