硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測定 氣相色譜法 現行
Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
標準號：YS/T 1060-2015
基本信息
標準號：YS/T 1060-2015
發布時間：2015-04-30
實施時間：2015-10-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：劉新軍、劉英杰、鄭華榮、柯尊斌、趙建為、孔令群、伍永勝、張云暉、楊紅燕
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 半金屬及半導體材料分析方法
ICS分類：金屬材料化學分析
提出單位：全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
起草單位：中鍺科技有限公司、江蘇中能硅業科技發展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司
歸口單位：全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
主管部門：全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
標準簡介
本標準規定了硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷（包括二氯二氫硅、四氯化硅）含量的氣相色譜測定方法。本標準適用于硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷（包括二氯二氫硅、四氯化硅）含量的測定。測定范圍下限為0.002%。
標準摘要
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本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。 本標準由全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC243)提出并歸口。 本標準起草單位:中鍺科技有限公司、江蘇中能硅業科技發展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司。 本標準主要起草人:劉新軍、劉英杰、鄭華榮、柯尊斌、趙建為、孔令群、伍永勝、張云暉、楊紅燕。 |
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