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電子工業用氣體 六氟化硫 現行

Gases for electronic industry—Sulphur hexaflouride

標準號：GB/T 18867-2014

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基本信息

標準號：GB/T 18867-2014
發布時間：2014-12-22
實施時間：2015-07-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：黃曉磊、牛學坤、賴明貴、傅濤、劉長慶、任清貴、史淑慧、方正、廖恒易、李曉明、曲慶、楊任、常俠、楊遂平、鄧建平、方華、周鵬云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
起草單位：黎明化工研究設計院有限責任公司、成都科美特氟業塑膠有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市華特氣體有限公司、四川眾力氟業有限責任公司等
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規定了六氟化硫的技術要求、試驗方法、標志、包裝、貯存及安全等。本標準適用于硫與氟直接反應并經精制和純化制備的六氟化硫。該產品主要用作電子工業中化學氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等。分子式:SF6。相對分子質量:146.0564192(按2007年國際相對原子質量計算)。

標準摘要

本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。
請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。
本標準代替 GB/T18867—2002《電子工業用氣體 六氟化硫》。與 GB/T18867—2002相比,除編輯性修改外主要技術變化如下:
———修改了范圍(見第1章,2002年版的第1章);
———修改了規范性引用文件(見第2章,2002年版的第2章);
———修改了技術指標(見第3章,2002年版的第3章);
———修改了抽樣、判定和復驗(見4.1,2002年版的第5章);
———修改了氧+氬、氮、四氟化碳、二氧化碳含量的測定方法(見4.3,2002年版的4.2、4.3);
———刪除了六氟乙烷、八氟丙烷含量的測定方法(見2002年版的4.4);
———增加了一氧化碳和甲烷含量的測定方法(見4.3);
———修改了水分含量的測定方法(見4.4,2002年版的4.5);
———修改了標志、包裝、貯運及安全(見第5章,2002年版的第6章)。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。
本標準起草單位:黎明化工研究設計院有限責任公司、成都科美特氟業塑膠有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市華特氣體有限公司、四川眾力氟業有限責任公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、大連大特氣體有限公司、四川中測標物科技有限公司、上海儀盟電子科技有限公司、光明化工研究設計院、上海基量標準氣體有限公司、西南化工研究設計院有限公司、核工業理化工程研究院華核新技術開發公司。
本標準主要起草人:黃曉磊、牛學坤、賴明貴、傅濤、劉長慶、任清貴、史淑慧、方正、廖恒易、李曉明、曲慶、楊任、常俠、楊遂平、鄧建平、方華、周鵬云。
本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:
———GB/T18867—2002。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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