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多晶硅工廠設計規范 現行

標準號:GB 51034-2014

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基本信息

標準號:GB 51034-2014
發布時間:2014-08-27
實施時間:2015-05-01
首發日期:
出版單位:中國計劃出版社查看詳情>
起草人:
出版機構:中國計劃出版社
發布部門:中華人民共和國住房和城鄉建設部

標準簡介

本規范由中華人民共和國住房和城鄉建設部第530號公告發布,自2015年5月1日起實施。其中,第4.2.8、6.1.3(9)、6.1.6(3)、6.2.8(3)、8.1.1、8.2.1(2、3、5)、8.2.5(3)、8.3.1(2、3)、8.3.2(2)、8.6.4、9.1.3、9.3.4、9.4.3、9.5.2、10.1.3、10.3.4、10.3.6、10.3.9、11.1.6、11.2.3、12.2.5條(款)為強制性條文,必須嚴格執行。本規范適用于采用三氯氫硅氫還原法的新建、擴建和改建多晶硅工廠的工程設計,也適用于硅烷歧化法多晶硅廠中三氯氫硅合成、四氯化硅氫化和氯硅烷提純的工程設計。

標準目錄

1 總 則
2 術 語
3 基本規定
4 廠址選擇及廠區規劃
5 工藝設計
6 電氣及自動化
7 輔助設施
8 建筑結構
9 給水、排水和消防
10 采暖、通風與空氣調節
11 環境保護、安全和衛生
12 節能、余熱回收
附錄A 地下管線與建(構)筑物之間的最小水平凈距
附錄B 地下管線之間的最小水平凈距
附錄C 主要房間空氣潔凈度、溫度、濕度
本規范用詞說明
引用標準名錄
附:條文說明

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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