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MEMS高g值加速度傳感器性能試驗方法

Test methods of the performance for MEMS high g accelerometer
標準號:GB/T 33929-2017
基本信息
標準號:GB/T 33929-2017
發(fā)布時間:2017-07-12
實施時間:2018-02-01
首發(fā)日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:石云波、程紅兵、唐軍、李海斌、馬宗敏、朱悅
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 微電路綜合
ICS分類:集成電路、微電子學
提出單位:全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
起草單位:中北大學、中機生產(chǎn)力促進中心
歸口單位:全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
發(fā)布部門:中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門:全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
標準簡介
本標準規(guī)定了MEMS高g值加速度傳感器的電氣性能和基本性能的術語和定義、試驗條件、試驗的一般規(guī)定、試驗項目及方法。本標準適用于量程在1×104g~2×105g范圍的MEMS高g值加速度傳感器(以下簡稱加速度傳感器)性能試驗。
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