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鍺單晶電阻率直流四探針測量方法
鍺單晶電阻率直流四探針測量方法 現行
Germanium monocrystal—Measurement of resistivity-DC linear four-point probe
標準號：GB/T 26074-2010
基本信息
標準號：GB/T 26074-2010
發布時間：2011-01-10
實施時間：2011-10-01
首發日期：2011-01-10
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：張莉萍、焦欣文、王學武、普世坤
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 半金屬及半導體材料分析方法
ICS分類：金屬材料的其他試驗方法
起草單位：南京中鍺科技股份有限公司、北京國晶輝紅外光學科技有限公司、云南臨滄鑫圓鍺業股份有限公司
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC 203/SC 2)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC 203/SC 2)
標準簡介
本標準規定了用直流四探針法測量鍺單晶電阻率的方法。本標準適用于測量試樣厚度和從試樣邊緣與任一探針端點的最近距離二者均大于探針間距的4倍鍺單晶的體電阻率以及測量直徑大于探針間距的10倍、厚度小于探針間距4倍鍺單晶圓片（簡稱圓片）的電阻率。
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